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多离子束显微镜ORION NanoFab

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离子束显微镜集3种聚焦离子束于一身的显微镜,可以实现亚10nm结构的超高精度加工

快速、精准的亚10纳米结构加工。借助ORION NanoFab显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换:

 氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。

■ 氦离子束可以加工亚10nm级精度的结构。

■ 备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。

ORION NanoFab集镓、氖、氦三种离子束于一身,是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。


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