电镜扫描SEM：利用阴极所发射的电子束经阳极加速，由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流，这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息，经过分别收集，放大就能从显示屏上得到各种相应的图像。SEM主要利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像，可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析。