扫描电镜是使用最广泛的仪器之一。扫描电镜主要由冷却循环水系统，电子光学系统，真空系统，信号检测，处理和显示系统，图像记录系统，样品室和电源系统组成。

在扫描电子显微镜之前，应对样品进行相应的处理。扫描电子显微镜不仅可以检测二次电子图像，还可以检测反向散射电子，透射电子，特征X射线，阴极发光和其他信号图像。成像原理与二次电子图像相同。

扫描电子显微镜是使用最广泛的仪器之一。它可以进行以下基本分析：具有许多卓越性能的多功能仪器。

1.纳米材料的观察：具有很高的分辨率，当组分材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-μm的范围内时，可以观察在保持表面清洁的条件下通过压模获得的固体材料。 100纳米

2，材料断裂的分析：其景深，图像富有三维感，具有三维形状，可以从断裂形态上显示出材料断裂的本质，在材料断裂原因分析，事故原因分析中而过程合理性是一种有力的手段。

3，直接观察原始样品表面：可以直接观察直径为100 mm，高50 mm或较大尺寸的样品，样品没有任何限制，可以检测出粗糙表面的形状，它将消除了制备样品的必要性，并且可以真正观察样品本身具有不同对比度（反向散射电子）的材料成分。

4，观察厚样品：当观察厚样品时，可以获得高分辨率和最真实的形态。

5，观察样品每个区域的细节：样品在样品室中可以在非常大的范围内移动，可以在三个自由度内移动（三个空间平移，三个空间旋转），这带来了非常方便地观察每个区域中样品的不规则形状。

6，在大视野下，以低倍率观察样品，使用扫描电镜观察大视野下的样品：在大视野下，以低倍率观察样品的形态在某些领域是必要的，例如犯罪侦察和考古学。

7.从高倍率到低倍率的连续观察：扫描电子显微镜具有广泛的倍率范围（从50,000到200,000倍连续可调），并且可以在从高倍率到低倍率以及从低倍率到高倍率后连续观察。无需重新聚焦即可聚焦，这对于分析特别方便。

8.观察生物样品：由于样品在电子辐照表面上的损坏和污染程度很小，因此观察一些生物样品尤为重要。

9，动态观察：如果样品室配备有加热，冷却，弯曲，拉伸和离子蚀刻配件，则可以观察动态变化过程的相变，断裂强度等。

如图10所示，从样品表面形态获得各种数据：由于扫描电子图像不是同时记录的，因此根据这种组成将其分解为近一百万个连续记录。扫描电子显微镜（SEM）不仅可以分析表面形态，还可以分析成分和元素，还可以通过电子通道图案进行晶体学分析，选择尺寸范围为10μm至3μm。

现在，扫描电子显微镜（sem）已广泛用于材料科学，金属材料，非金属材料，纳米材料），冶金，生物学，医学，半导体材料和设备，地质勘探，植物病虫害的预防，灾难（火灾） ，故障分析）评估，犯罪侦查，宝石鉴定，产品鉴定和工业生产中的生产过程控制等。